芯片转移装置及芯片转移方法.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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芯片转移装置及芯片转移方法.pdf

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本发明实施例公开了一种芯片转移装置及芯片转移方法，其中，芯片转移装置包括拾取组件、壳体、用于带动壳体移动的移动件以及用于控制多个拾取组件的控制器，控制器能够独立控制多个拾取组件的电压通断，拾取组件包括拾取件，拾取组件通电后，拾取件可吸附芯片。控制器能够独立控制多个拾取组件拾取芯片，因此可选择任意的拾取组件进而实现芯片任意间距的选择性转移，芯片转移效果较佳。相对于传统的芯片转移装置只能实现芯片固定间距的选择性转移，不能实现芯片任意间距的选择性转移，芯片转移效果不佳的方案，本方案中芯片转移装置可选择

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114420802 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202111614316.6 (22)申请日 2021.12.27 (71)申请人深圳市思坦科技有限公司