一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉.pdf

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本发明公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，包括螺旋形的感应线圈、承载感应线圈的底座。所述底座包括旋转固定座及覆盖于旋转固定座上的旋转支座；所述感应线圈安装在旋转支座上，旋转支座旋转带动感应线圈沿感应线圈的中轴线旋转；通过调控感应线圈的旋转周期和旋转角度来控制感应线圈的磁场分布，从而调整温度场的分布。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114411264 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210063968.3 (22)申请日 2022.01.20 (71)申请人南京晶升装备股份有限公司