体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置.pdfVIP

体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置.pdf

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一种体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置,其中体声波谐振装置包括:空腔;第一电极层,第一电极层的至少一端位于空腔上方或内部;压电层,空腔及第一电极层位于压电层的第一侧;第二电极层,位于第二侧;第一无源结构,位于第一侧,与第一电极层的至少一个边缘具有第一重合部;第二无源结构,位于第二侧,与第二电极层的至少一个边缘具有第二重合部;第一无源结构包括:第一抬起部,位于谐振区内侧;第一延伸部,位于谐振区外侧,第一抬起部相对第一延伸部凸起;其中,第二无源结构包括:第二抬起部,位于谐振区内侧;第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114421917 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210224226.4 (22)申请日 2022.03.07 (66)本国优先权数

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