一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法.pdf

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本发明公开了一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法。在光波导的端面、外表面等表面上布置有由金属纳米颗粒、介质层、金属膜组成的纳腔结构；将金属膜先布置在光波导的表面上，金属纳米颗粒再通过介质层隔绝地布置在金属膜外表面上。本发明通过从金属膜下表面激发纳腔从而实现纳腔与光纤、集成光波导等光学系统的紧凑高效集成，不需要显微镜激发，易于集成、结构简单、成本廉价，满足纳腔等离激元器件小型化和集成化发展的需求。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114486816 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210066487.8 (22)申请日 2022.01.20 (71)申请人浙江大学嘉兴研究院地址 3140