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本发明公开了多器件分层嵌埋封装结构的制作方法,包括:准备聚合物支撑框架;在第一器件放置口框内贴装第一器件,形成第一封装层;形成第一线路层和第二线路层,第一器件的端子与第二线路层连通,第一导通线路层和第二线路层通过第一导通铜柱层导通连接;形成第二导通铜柱层和第二牺牲铜柱层;第一线路层上形成第二绝缘层,第二线路层上形成第三绝缘层;形成与第一器件放置口框垂直重叠的第二器件放置口框;在第二器件放置口框内贴装第二器件和第三器件,形成第二封装层;在第二绝缘层上形成第三线路层,第二器件和第三器件的端子分别与第
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114496818 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202111518254.9 H01L 23/498 (2006.01)
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