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本发明提供了一种雾化芯加工方法、雾化芯、雾化器及气溶胶发生装置，该雾化芯加工方法采用微加工技术在低阻硅晶圆和玻璃晶圆上分别加工第一通孔和第二通孔，利用键合工艺将低阻硅晶圆和玻璃晶圆键合连接，键合过程中保证第一通孔与第二通孔对准，使得第一通孔与第二通孔贯通形成传输和存储气溶胶形成基质液体的孔道。这样，由该方法加工的雾化芯，低阻硅晶圆通电产生的热量可直接加热孔道内的气溶胶形成基质，使流经孔道的气溶胶形成基质均匀受热并雾化，克服传统雾化芯对气溶胶形成基质加热不均匀且雾化芯容易发生干烧的问题。并且，通过
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114451594 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202011239029.7
(22)申请日 2020.11.09
(71)申请人 常州市派腾电子技术服务有限公司
地址
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