一种减少蒸发镀层的真空电子束冷床熔炼炉系统.pdfVIP

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2023-05-09 发布于四川
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一种减少蒸发镀层的真空电子束冷床熔炼炉系统.pdf

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本发明公开了一种真空电子束冷床熔炼炉系统，包括熔炼单元、真空抽气单元和抽蒸发料单元；熔炼单元包括EB炉体，EB炉体中设置有铸造坩埚和水平坩埚；真空抽气单元包括扩散泵，EB炉体与扩散泵通过真空抽气管道连通；抽蒸发料单元包括沉粉腔和扩散泵，EB炉体与扩散泵通过蒸发料抽除管道连通，蒸发料抽除管道的入口设置在水平坩埚的上方；蒸发料抽除管道包括多段，相邻段的轴心方向不同，相邻段的连接处的底部设置有沉粉腔。本发明中通过抽蒸发料单元的设置，对杂质与原料蒸发产生的蒸发料进行收集，大大减少EB炉体与蒸发料的接触，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114485166 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111520689.7 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人宁波创润新材料有限