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本申请实施例提供的金属氧化物半导体场效应晶体管及其制造方法,通过在金属氧化物半导体场效应晶体管器件的背面注入P型杂质,从而可以降低大电流下金属氧化物半导体场效应晶体管器件的导通电阻,因此能够减少器件工作时产生的热量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114497187 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202210071209.1
(22)申请日 2022.01.21
(71)申请人 吉林华微电子股份有限公司
地址 1
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