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本发明揭露了一种单晶炉气密性的检测方法,包括关闭单晶炉的进气阀与排气阀;对单晶炉进行抽真空,且持续时间为T1,完毕后检测单晶炉内的实际压强;对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量,若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量,则保持单晶炉闭气,且持续时间为T2,完毕后再次检测单晶炉内的实际压强;再对比、判断单晶炉内的实际压强是否增大,如果否,则判定该单晶炉气密性良好,如果是,则判定该单晶炉气密性差;如此,本发明采用的检测方法能准确判断单晶炉气密性能的好坏,进而保护热场,保证拉制单晶的质量,保
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114486107 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202011259857.7
(22)申请日 2020.11.12
(71)申请人 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
地
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