一种单晶炉气密性的检测方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种单晶炉气密性的检测方法.pdf

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本发明揭露了一种单晶炉气密性的检测方法，包括关闭单晶炉的进气阀与排气阀；对单晶炉进行抽真空，且持续时间为T1，完毕后检测单晶炉内的实际压强；对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量,若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则保持单晶炉闭气，且持续时间为T2，完毕后再次检测单晶炉内的实际压强；再对比、判断单晶炉内的实际压强是否增大，如果否，则判定该单晶炉气密性良好，如果是，则判定该单晶炉气密性差；如此，本发明采用的检测方法能准确判断单晶炉气密性能的好坏，进而保护热场，保证拉制单晶的质量，保

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114486107 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202011259857.7 (22)申请日 2020.11.12 (71)申请人内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司地