一种非拦截式直流束流位置及束斑形状测量方法及系统.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种非拦截式直流束流位置及束斑形状测量方法及系统.pdf

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本发明提供一种非拦截式直流束流位置及束斑形状测量方法及系统包括：在测量探头中的每一正对的两块偏转极板间施加预设幅值的电压，以使两块所述偏转极板之间产生电场；以所述电场使得束流打到电流探针上，据以探测电流变化；对偏转极板电压进行归零，对所述偏转极板进行电压调整直至电流探针上检测到电流，记录此时的电压幅值，对每组所述偏转极板循环前述操作直至结束测量；以预设逻辑处理所述电压幅值，据以获取偏移位移，以得到所述束流位置及所述束斑形状。本发明解决了结构复杂，易受干扰，使用成本高、易损坏烧蚀及测量对象单一的技

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114460621 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210228744.3 (22)申请日 2022.03.08 (71)申请人中国科学院合肥物质科学研究院地址