一种自旋轨道矩磁性随机存储器及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种自旋轨道矩磁性随机存储器及其制备方法.pdf

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本发明提供一种自旋轨道矩磁性随机存储器及其制备方法，自旋轨道矩磁性随机存储器包括衬底、第一导电结构、拓朴结构、磁性隧道结、第二导电结构及第三导电结构；通过与第一导电结构垂直设置，且第一端与第一导电结构电连接、第二端与第三导电结构电连接的拓朴结构，及在拓朴结构外围设置电连接的磁性隧道结，以及在磁性隧道结的外围设置电连接的第二导电结构，可提高自旋轨道矩磁性随机存储器的存储能力，降低自旋轨道矩磁性随机存储器的功耗，以扩大自旋轨道矩磁性随机存储器的应用。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114497359 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210072138.7 (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人上海积塔半导体有限