一种质谱仪大气压离子源排气装置.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种质谱仪大气压离子源排气装置.pdf

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本发明公开了一种质谱仪大气压离子源排气装置，属于质谱仪领域，包括离子源腔室、与离子源腔室连通的排气口、真空发生器、电子调压阀、控制器以及压力传感器，真空发生器安装于排气口以及离子源腔室之间并与电子调压阀连接，控制器与电子调压阀以及压力传感器电性连接，控制器通过压力传感器监测离子源腔室内的压力，当离子源腔室内压力变化时，控制器调节电子调压阀出口的压力，以改变真空发生器负压口的真空度，从而改变排气口的排气速率，使离子源腔室内部压力恒定，确保质谱仪信号稳定。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114496716 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210078222.X (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人天津国科医工科技发展有限公司地址