在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.28万字
约 12页
2023-05-09 发布于北京
举报
版权申诉

在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币.pdf

1、本文档共12页，其中可免费阅读11页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请具体涉及在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币，属于原子层沉积领域，包括步骤：前驱体沉积：将第一前驱体沉积在衬底表面，得到沉积膜；前驱体反应：将第二前驱体与所述沉积膜进行反应，得到二氧化硅层；循环进行所述前驱体沉积和所述前驱体反应，直至所述二氧化硅层的厚度达到目标厚度，得到二氧化硅膜；其中，所述第二前驱体包括含硅前驱体和含氧前驱体。通过首先在衬底上沉积第一前驱体，得到沉积膜，然后再将含氧前驱体和含硅前驱体与沉积膜反应，得到二氧化硅层，多次循环沉积后得到二氧化硅膜，二氧化硅膜硬度高

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481093 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210101889.7 (22)申请日 2022.01.27 (71)申请人嘉兴科民电子设备技术有限公司地址