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本发明提供基板处理方法和基板处理装置。在使基板吸附于利用加热器加热的基板台并进行基板处理时,降低基板的吸附时产生于基板的背面的损伤。基板处理方法为在基板处理装置中对基板进行液处理的方法,该基板处理装置包括:基板台,其吸附所述基板;加热器,其加热所述基板台;以及处理液喷嘴,其向吸附于所述基板台的所述基板供给处理液,其中,该基板处理方法包括:吸附工序,在该吸附工序中,在所述基板与所述基板台之间没有温度差或温度差在预先确定的范围内时,利用所述基板台吸附所述基板;以及所述吸附工序之后的处理液供给工序,在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114496884 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202111211452.0
(22)申请日 2021.10.18
(30)优先权数据
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