一种片盒及片盒定位装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.38万字
约 22页
2023-05-09 发布于四川
举报
版权申诉

一种片盒及片盒定位装置.pdf

1、本文档共22页，其中可免费阅读21页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明属于光刻技术领域，具体公开了一种片盒和片盒定位装置。片盒开设有容纳基底的容纳槽，片盒的底部沿X方向贯通设置有避让槽，避让槽的槽底凸设有定位条，片盒具有与X方向垂直的定位面，容纳槽具有贯通定位面的槽口，基底能通过槽口进入或退出容纳槽。片盒定位装置用于定位如上的片盒，且包括承载板，承载板上沿X方向设置有至少两个定位槽，不同尺寸的片盒的定位条能插入设定的定位槽中；片盒定位装置具有检测面，当片盒装载在承载板上时，检测面与定位面重合。本发明公开的片盒及片盒定位装置，能够提高片盒定位装置对不同规格片盒

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114496864 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202011253391.X (22)申请日 2020.11.11 (71)申请人上海微电子装备(集团)股份有限公