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本发明公开了一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构,包括结构主体、晶圆、夹持机构与连接构件,所述连接构件一侧设置有连接杆,所述连接杆底端设置有气缸,所述气缸底端设置有伸缩杆,所述伸缩杆底端设有移动座,所述移动座内侧底部设有驱动机构,所述驱动机构的输出端传动连接有传动轴,且所述传动轴末端连接有转动环,所述转动环一侧表面设置有环形管,所述环形管一侧设置有吹扫机构;通过设计了气缸、伸缩杆、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管,当晶圆从工艺箱中取出进行传送时,氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫,使得吹扫
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114453338 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202210070349.7
(22)申请日 2022.01.21
(71)申请人 赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司
地
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