一种平面光学元件表面疵病检测装置和检测方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种平面光学元件表面疵病检测装置和检测方法.pdf

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本发明公开了一种平面光学元件表面疵病检测装置和检测方法，该装置包括激光器、光束折转模块、测焦模块、主探测模块、主光路模块、光陷阱模块、运动控制模块；其中由激光器发出的激光由光束折转模块入射到待测样品表面，光陷阱模块设置在其反射光的路径上。显微镜设置在待测样品的正上方，接收一定立体角范围内的散射光。接收到的散射光一部分在CMOS上成像，一部分通过分光棱镜由PMT能量接收模块接收。测焦模块通过另外一块分光棱镜检测待测样品的最佳焦面位置。本发明能将成像法和非成像法相互结合，从而很好地分辨出疵病的位置和

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114486910 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210005355.4 (22)申请日 2022.01.05 (71)申请人中国科学院合肥物质科学研究院地址