一种基于激光直写的图案化多孔石墨烯制备系统.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种基于激光直写的图案化多孔石墨烯制备系统.pdf

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本发明公开了一种基于激光直写的图案化多孔石墨烯制备系统，包括：激光器、控制器、扩束器、两个振镜、远心扫描场镜、控制卡和计算机；所述控制器连接激光器，用于控制激光输出参数；计算机连接控制卡，控制卡连接两个振镜，计算机用于发送信号给控制卡，进而控制卡控制振镜的偏转。采用聚酰亚胺薄膜作为碳前驱体。激光器发射激光束经过扩束器后，通过两个振镜，进入远心扫描场镜，投射到聚酰亚胺薄膜。本发明的优点是：可以快速高精度地制备出高质量的多孔石墨烯，可以实现更高精度的聚焦能力，具有更好的消像差能力，加工能力更强。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114477149 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111584407.X (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人北京理工大学地址 100081