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本发明公开了一种平面平晶检定装置及检定方法，包括被测平晶，被测平晶的底部设置有标准平晶，被测平晶的顶部设置有准直物镜，准直物镜的左上方设置有挡板，挡板上开设有小孔，挡板的侧面设置有光纤激光，挡板的右侧设置有第一反射镜，准直物镜的正上方设置有第二反射镜，光纤激光的激光前方设置有分光镜，分光镜的右侧设置有CCD相机；本发明通过采用了平面等厚干涉的方法，通过相机采集被测平晶与标准平晶的干涉图样，以及采用自行搭建的平面度算法，完成被测平晶的检定，同时可并行检定多个被测平晶的平面度，提高检定效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114459395 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202210311984.X
(22)申请日 2022.03.28
(71)申请人 深圳众庭联合科技有限公司
地址 5
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