一种单腔三振子压电泵及驱动方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于四川
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一种单腔三振子压电泵及驱动方法.pdf

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本发明公开了一种单腔三振子压电泵；包括单振子压盖，所述单振子压盖的下部设有中间体，所述中间体的下部设有双振子压盖；所述双振子压盖和所述中间体之间设有第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体的内部安装有第一振子和第二振子；所述单振子压盖和所述中间体之间设有第三腔体，所述第三腔体的内部安装有第三振子；所述中间体上开设有第一连接孔、第二连接孔和第三连接孔，所述第一腔体通过所述第一连接孔连通所述第三腔体，所述第二腔体通过第二连接孔连通所述第三腔体；本发明会大幅度提高压电泵的输出流量；提高压电泵的自

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114483548 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210078740.1 (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人常州工学院地址 213031 江