一种制造碳化硅晶体的装置及制造碳化硅晶体的方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种制造碳化硅晶体的装置及制造碳化硅晶体的方法.pdf

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本发明公开了一种制造碳化硅晶体的装置及制造碳化硅晶体的方法，该制造碳化硅晶体的装置包括壳体、坩埚组件、籽晶组件、加热件和石墨件，壳体限定出容纳腔，坩埚组件包括石墨坩埚和设在石墨坩埚内的非石墨坩埚，非石墨坩埚用于承载助溶剂溶液，籽晶组件可升降配合在壳体内，且籽晶组件的一端伸入坩埚组件内，籽晶组件用于承载碳化硅晶体，加热件设在容纳腔内且环绕坩埚组件设置，石墨件可升降地配合在壳体内，石墨件的一端浸入助溶剂溶液内。该制造碳化硅晶体的装置能够降低碳化硅晶体的制造成本，延长纯石墨坩埚的使用寿命。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481317 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210102342.9 (22)申请日 2022.01.27 (71)申请人北京青禾晶元半导体科技有限责任