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提供了一种光谱滤波器,包括:第一布拉格反射层;与所述第一布拉格反射层间隔开的第二布拉格反射层;第一谐振层,设置在所述第一布拉格反射层与所述第二布拉格反射层之间并包括谐振腔;第二谐振层,包括所述第一布拉格反射层、所述第二布拉格反射层和所述谐振腔的至少一部分;第三布拉格反射层;第四布拉格反射层,与所述第三布拉格反射层间隔开,其中,所述第二谐振层设置在所述第三布拉格反射层与所述第四布拉格反射层之间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114500894 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202111200483.6 G01J 3/26 (2006.01)
(22)申请日 2021.10.1
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