原子层沉积方法及设备.pdfVIP

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2023-05-09 发布于四川
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原子层沉积方法及设备.pdf

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本发明公开了一种原子层沉积方法和设备，其将微波和前驱体气体均导入同一喷头，再通过同一喷头导入沉积室，可通过微波增加喷头中的前驱体气体的动能，减少前驱体气体在喷头中的沉积，减轻沉积室中的前驱体气体残留问题，提高前驱体气体利用率，提高沉积效率。且通过喷头对微波的空间限制，可提高微波的集中度，提高微波能量利用率，提高对前驱体气体的加热效果，提高提供至沉积室的前驱体气体的动能，提高系统效能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481089 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111623337.4 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人长江存储科技有限责任公司地址 4