一种二次曲面光学元件的轴心测量装置及方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种二次曲面光学元件的轴心测量装置及方法.pdf

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本发明公开了一种二次曲面光学元件的轴心测量装置及方法，包括样品台、高精度测距仪、三维位移台和控制器；所述的样品台上设有夹持机构，用于将待测的二次曲面光学元件水平固定在样品台上；所述的三维位移台设置在样品台的正上方；所述的高精度测距仪固定在三维位移台的下端面，朝向样品台；所述三维位移台的X、Y轴与光学元件的轴心互相垂直，用于承载高精度测距仪进行二维平移；三维位移台的Z轴与光学元件的轴心互相平行，用于承载高精度测距仪轴向平移；所述的控制器分别与高精度测距仪和三维位移台电连接。利用本发明，可以实现二次

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114485533 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111623901.2 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人浙江大学嘉兴研究院地址 3140