全向多段加热控制的碲锌镉晶体生长炉及晶体生长方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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全向多段加热控制的碲锌镉晶体生长炉及晶体生长方法.pdf

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一种全向多段加热控制的碲锌镉晶体生长炉及晶体生长方法，包括晶体生长炉炉体、背景加热单元、不锈钢炉、生长坩埚、多段全向加热装置、支撑装置及温度控制器；晶体生长炉设置有夹层，夹层中沿竖直方向装有多个背景加热单元；在不锈钢炉的内腔放置供晶体生长的生长坩埚，该生长坩埚放置于支撑装置上并能够随支撑装置一起沿竖直方向运动；在不锈钢炉内腔壁位于晶体结晶位置处设置有呈水平环状的多段全向加热装置，多段全向加热装置实现碲锌镉晶体生长过程中固液界面全向温度均匀的精确控制，使得晶体生长单晶率得到提升。本发明采用分段全向

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481329 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202011157556.3 (22)申请日 2020.10.26 (71)申请人昆明物理研究所地址 650221