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本发明提供检测透明体偏折角度和内部缺陷的装置及其方法,装置包括缺陷检测模块、偏折角度检测模块、夹持工装模块及控制系统;夹持工装模块包括六自由度运动平台和夹具,夹具在六自由度运动平台的驱动下具有六个自由度;透明体固定于夹具上;缺陷检测模块用以检测透明体的内部缺陷,偏折角度检测模块用以检测透明体的偏折角度;夹持工装模块带动透明体运动,使透明体分别经过两模块的检测;控制系统连接缺陷检测模块并计算内部缺陷的尺寸,控制系统连接偏折角度检测模块并计算偏折角度。本发明提高了光学透明体的偏折角度和内部缺陷进行检
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114486730 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202111525355.9
(22)申请日 2021.12.14
(71)申请人 长春奥普光电技术股份有限公司
地址
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