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公开了判断和使用用于将晶片提供至半导体处理工具的晶片站的晶片支撑件的多种类型偏移的系统和技术;这样的技术和系统可使用可具有多个传感器的自动校准晶片,所述传感器包含可用于摄像与位于选定晶片站中的两种不同结构相关的基准的多个位于边缘的摄像传感器。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114466728 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202080066598.8 马克 ·E ·爱默生
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