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一种半导体结构及其形成方法,其中方法包括:提供基底;在所述基底上形成底部电极层;在所述底部电极层上形成界面缓冲层,且所述界面缓冲层与所述底部电极层在同一制作设备中进行;在所述界面缓冲层上形成电介质层。所述方法形成方法半导体结构的性能较好。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114496976 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202011263281.1
(22)申请日 2020.11.12
(71)申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限
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