可转换等离子体源及方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于四川
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可转换等离子体源及方法.pdf

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一种等离子体源包括：通过具有恒定宽度的介电势垒和间隙隔开的第一中空电极和第二中空电极；等离子体源被配置为以第一配置和第二配置中任一者来选择性地产生等离子体；其中，i)在第一配置中，等离子体形成气体在间隙中流动，而非等离子体形成气体在第一中空电极内流动；以及ii)在第二配置中，等离子体形成气体在第一中空电极内流动，以及非等离子体形成气体在间隙内流动。方法包括选择具有不同击穿电压的至少两种气体，在施加功率下，将第一气体注入到与第二中空电极隔开恒定宽度的气隙的第一电极中，以及将第二气体注入到气隙中。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114503788 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202080068612.8 (74)专利代理机构北京市中咨律师事务所