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本发明公开了一种带通滤波的X射线光学系统及制备方法,该制备方法包括:根据设计目标能点确定滤片的材料和滤片的厚度;根据设计目标能点采用深度梯度法确定多层膜反射镜的膜层材料和各个膜层的初始膜层厚度;根据滤片的材料和滤片的厚度制备滤片;根据滤片的材料和滤片的厚度采用单纯形调优法优化多层膜反射镜的各个膜层的初始膜层厚度,得到各个膜层的实验优化膜层厚度;根据膜层材料和各个膜层的实验优化膜层厚度制备多层膜反射镜;对滤片和多层膜反射镜进行组装得到带通滤波的X射线光学系统。本发明通过滤片和多层膜反射镜使得滤片透
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114496339 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202210099481.0
(22)申请日 2022.01.27
(71)申请人 苏州闻道电子科技有限公司
地址 2
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