超声振动辅助激光诱导等离子体加工装置及方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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超声振动辅助激光诱导等离子体加工装置及方法.pdf

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本发明公开了超声振动辅助激光诱导等离子体加工装置及方法，加工装置包括激光器、透镜组件、安装工作台、超声振动工作台和金属靶材；该金属靶材固装在安装工作台上，该透明工件安装在超声振动工作台且透明工件和金属靶材上下平隔布置，该超声振动工作台带动透明工件进行上下超声振动，该激光器发出的激光束经透镜组件、透明工件辐射聚焦在金属靶材上并与金属靶材发生相互作用，通过相互作用产生的等离子体向透明工件背面转移以对透明工件材料进行刻蚀加工。它具有如下优点：具有更高精度、更快加工速度、更好表面完整性、更小暗损伤、更低

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114473221 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111675155.1 B23K 26/70 (2014.01)