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本发明公开了嵌入类内方差的二维大津法晶圆表面高光识别方法，为了同时考虑到类内总方差和类间方差这两个因素对阈值选取的影响，将这两者相除，得到新的阈值函数，由于类内总方差能表征类内的内聚性，其值越小且类间方差越大，阈值分割效果越好；由于类内总方差对应的阈值k需要进行遍历寻找，所以采用梯度下降的方法找到sq全局最小值，避免新阈值函数s收敛速度过慢的问题。本发明相较于采用传统二维大津法进行阈值分割，体现了其能够结合类内和类间方差的特性，通过提出的阈值函数自适应调整阈值可更加清晰地分割图像边界，同时采用梯
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114463364 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202210124776.9 G06K 9/62 (2022.01)
(22)申请日 2022.02.1
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