一种带气体富集功能的MEMS气体传感器及其工作方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种带气体富集功能的MEMS气体传感器及其工作方法.pdf

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本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种带气体富集功能的MEMS气体传感器及其工作方法。该带气体富集功能的MEMS气体传感器包括衬底、第一绝缘支撑层、加热电阻层、第二绝缘支撑层、敏感电极层、半导体气敏材料层、气体富集材料层和悬膜通孔。本发明通过气体富集材料的选择性富集与释放，提高气体传感器的灵敏度和选择性。该MEMS气体传感器尺寸小、成本低、灵敏度高、选择性好。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114487036 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210020830.5 (22)申请日 2022.01.10 (71)申请人海宁微纳芯传感技术有限公司地址