一种光学元件后表面激光损伤阈值的测试装置及测试方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种光学元件后表面激光损伤阈值的测试装置及测试方法.pdf

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本发明公开了一种光学元件后表面激光损伤阈值的测试装置及测试方法，本发明通过多次测量背向受激布里渊散射和自聚焦效应的增益情况，将传统测试方法中忽略的两种非线性效应考虑进来，得到了激光诱导光学元件后表面损伤时真实的激光能量与激光光斑大小，从而规避了不同形状的光学元件引入不同的非线性效应所带来的损伤阈值测试结果误差，本发明的测试装置和方法不仅提高了测试精度，也为开展激光诱导光学元件后表面损伤机理以及相应的提高损伤阈值工艺提供了更多的帮助。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114486190 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210031568.4 G01N 21/84 (2006.01) (22)申请日 2022.01.