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本发明构思涉及一种基板处理装置和基板处理方法,该基板处理方法包括:测量基板的对准状态,该基板放置在传送单元的手部上,该传送单元传送该基板;当基板的对准状态有问题时,通过传送单元将基板传送到基板对准单元;以及通过基板对准单元对准基板的位置,其中,该基板处理方法包括:当在对准状态的测量中测量到基板的对准状态超出传感器读取范围时,在基板装载到基板对准单元之前临时校正基板的位置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114496839 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202111255308.7
(22)申请日 2021.10.27
(30)优先权数据
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