一种用于拉制人工晶体的籽晶夹头.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种用于拉制人工晶体的籽晶夹头.pdf

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一种用于拉制人工晶体的籽晶夹头，涉及人工晶体领域，本发明通过在连接盘（10）内设置复数个旋转轴穿孔（9），复数个旋转轴穿孔为中间设置一个，其余旋转轴穿孔分多组呈放射状设置在中间旋转轴穿孔的外围，这样可以实现更多根硅芯的同时拉制，然后在每个旋转轴穿孔内分别设置可以旋转的旋转轴（7），复数个旋转轴通过旋转轮连通，由旋转轴带动夹持件（11）旋转，在拉制硅芯的过程中，旋转的夹持件带动籽晶旋转，通过籽晶旋转修正由于高频线圈拉制孔内或坩埚内温度不一致导致硅芯椭圆的技术缺陷，进而达到修正硅芯椭圆度的目的，本发

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114457420 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210200557.4 (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人洛阳市自动化研究所有限公司地址