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本公开实施例涉及半导体领域,提供工艺配方及其生成方法以及生成系统、半导体制造方法,其中基于衍射的工艺配方的生成方法包括:提供基础工艺配方,基础工艺配方中的参数包括曝光波长以及曝光能量,基础工艺配方用于形成初始对准图形;进行至少一次反馈修正步骤,以对基础工艺配方进行调整,获取实际工艺配方,其中,每次反馈修正步骤包括:基于当前反馈修正步骤之前的基础工艺配方,获取第一图形以及第二图形,第一图形为显影后的初始对准图形,第二图形为刻蚀后的初始对准图形;基于第一图形与第二图形的差异,对当前反馈修正步骤之前的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114496827 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202210039424.3
(22)申请日 2022.01.13
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 230
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