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一种氮化铝粉高效生产用雾化装置及系统.pdf

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本发明公开了一种氮化铝粉高效生产用雾化装置及系统,包括反应炉,所述反应炉的左上方固定连接有抽气口,所述抽气口的内部固定安装有阀门,所述反应炉的右上方固定安装有高压炉,所述高压炉的上方管道连接有坩埚,所述坩埚的上方设置有进料口,所述高压炉的右侧管道连接有气管,所述气管连通有高压氮气,所述反应炉的右侧固定安装有输气管,所述输气管与氮气连通,所述高压炉的底部开设有孔,所述反应炉的下方管道连接有收集盒,所述雾化装置及系统包括雾化控制系统,所述雾化控制系统包括下落时间计算模块、充分反应时间计算模块和冷却模

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114471359 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111298106.0 (22)申请日 2021.11.04 (71)申请人 江苏悟晴电子新材料有限公司 地址

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