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本发明公开了激光脉冲增强型分子束外延系统的PLEES制备系统,涉及纳米级薄膜技术领域;它的制备方法为:纯度为99.95%的Bi2Te3靶材和纯度为99.99%的Te靶材按1:1进行拼接形成混合靶材,并被置于外延室内;利用准分子激光器产生的激光束将混合靶材打散形成等离子束,分散的Bi原子和Te原子在另一侧衬底上沉积逐渐生长出纳米级薄膜;本发明的混合靶材能够极好地解决薄膜在生长过程中由于Te原子补充不足而出现的原子空位这个问题;保证了每一层外延膜的元素比例正确和Bi2Te3晶体的稳定生长;简化了操作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114457415 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202210090243.3
(22)申请日 2022.01.25
(71)申请人 哈尔滨理工大学
地址 150080
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