- 1、本文档共16页,其中可免费阅读15页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
为克服改良西门子法硅棒通电加热存在温差,多晶硅生长厚度受限的问题,本发明提供了一种高纯多晶硅生产装置,包括底盘、至少一个硅芯、第一柱面电极板、第二柱面电极板、至少一个等离子加热器和驱动组件,所述底盘设置在所述第一柱面电极板和所述第二柱面电极板之间,所述底盘上设置有至少一个卡槽,所述硅芯设置于所述卡槽内;所述等离子加热器用于喷射携带硅源气体的高温等离子气体,且所述等离子加热器设置于所述驱动组件上,所述驱动组件用于驱动所述等离子加热器以所述底盘的中心轴为轴线转动。同时,本发明还提供了一种多晶硅生产方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114455587 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202210094768.4
(22)申请日 2022.01.26
(71)申请人 何良雨
地址 518000 广东
您可能关注的文档
- 一种土壤酸碱度检测方法及其装置.pdf
- 一种液态金属柔性可穿戴器件及其制备方法.pdf
- 电化学金属化阻变器件及其制备方法.pdf
- 一种获取折叠相位的方法、三维重建的方法及系统.pdf
- 基于图像处理的车牌字符识别处理方法.pdf
- 港口运行效率实时分析方法及系统.pdf
- 船舶事故应急资源有哪些信誉好的足球投注网站方法及系统.pdf
- 一种盐乳芽孢杆菌木聚糖酶在改善面粉加工品质中的应用.pdf
- 一种西兰花的块状加工与清洗处理装置.pdf
- 一种实现虚拟现实VR漫游的方法及装置.pdf
- 教科版高中物理选择性必修第二册精品课件 第2章 电磁感应及其应用 专题提升6 电磁感应中的动力学、能量、动量问题——分层作业.ppt
- 教科版高中物理必修第一册精品课件 第3章 相互作用 分层作业17 物体的受力分析.ppt
- 教科版高中物理必修第一册精品课件 第4章 牛顿运动定律 1 牛顿第一定律.ppt
- 教科版高中物理必修第一册精品课件 第三章 相互作用 2 第2课时 实验探究弹簧弹力与形变的关系.ppt
- 教科版高中物理必修第一册精品课件 第四章 牛顿运动定律 5 牛顿第三定律.ppt
- 教科版高中物理选择性必修第二册精品课件 第1章 磁场对电流的作用 1.安培力——分层作业.ppt
- 教科版高中物理必修第一册精品课件 第4章 牛顿运动定律 分层作业29 超重和失重.ppt
- 教科版高中物理必修第一册精品课件 第一章 描述运动的基本概念 4 实验 用打点计时器测量小车的速度.ppt
- 教科版高中物理选择性必修第二册精品课件 第2章 电磁感应及其应用 1.楞次定律——分层作业.ppt
- 教科版高中物理必修第一册精品课件 第4章 牛顿运动定律 分层作业24 牛顿第二定律.ppt
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)