- 1、本文档共8页,其中可免费阅读7页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种预埋牺牲层的谐振器及其制备方法,包括:在衬底层的上表面形成凹槽,凹槽中填有牺牲层,牺牲层上表面有电极层,电极层之间及其周围由键合层填充,最上层是压电层。其中压电层通过键合技术和离子注入技术,转移至带图形化电极的衬底上,并采用其余适宜的半导体工艺进行制备。可缩小谐振器结构尺寸,稳定性能,提高谐振器结构的产率、稳定性与牢固性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114465596 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202210097612.1
(22)申请日 2022.01.27
(71)申请人 宁波华彰企业管理合
您可能关注的文档
- 一种冶金铸造起重机环保操作方法.pdf
- 一种基于高层房屋建筑的快速安全逃生机构.pdf
- 一种商用车驾驶室涂装方法.pdf
- 医用防粘连用可吸收柔性聚酯材料、制备方法及其应用.pdf
- 一种基于铁磁流体的可穿戴绑腿.pdf
- 密钥迁移方法及装置、存储介质和电子设备.pdf
- 软件换肤的方法和装置、存储介质及处理器.pdf
- 网关的代理方法及装置、电子设备、存储介质.pdf
- 高散热性的箱式变电所.pdf
- 游戏应用方法、装置、服务器及存储介质.pdf
- 语文人教统编版选择性必修下册9.1陈情表(共23张ppt).pptx
- 统编版必修下册 15.2 答司马谏议书 课件(共53张PPT).pptx
- 统编版选择性必修中册 11.2 五代史伶官传序 课件(共28张PPT).pptx
- 统编版选择性必修上册 9 复活(节选)课件(共35张PPT).pptx
- 古诗词诵读《将进酒》课件 2023-2024学年统编版高中语文选择性必修上册.pptx
- 陕西省咸阳市实验中学2024-2025学年高二上学期开学考试语文试题.pdf
- 吉林省四校联考2024-2025学年高二上学期9月月考试题 语文.docx
- 古诗词诵读《春江花月夜》课件 2024-2025学年统编版高中语文选择性必修上册.pptx
- 统编版选择性必修下册 1 欲把深情说与谁——《氓》《孔雀东南飞》对比阅读课件(共35张PPT).pptx
- 统编版高中语文必修上册(高一)第二单元《喜看稻菽千重浪》《心有一团火,温暖众人心》《探界者钟扬》群文阅读教学设计.docx
最近下载
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)