密封波纹管的漏率检测系统.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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密封波纹管的漏率检测系统.pdf

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本申请实施例提供了一种密封波纹管的漏率检测系统。该漏率检测系统的冷却腔室内形成有冷却腔，冷却装置与冷却腔室连接，用于调节冷却腔内的温度以模拟工艺腔室的工艺环境；冷却腔室上开设有多个连通口，用于使冷却腔能与密封波纹管的内部空间密封连通；检测腔室内形成有多个与连通口一一对应设置的容置腔，并且容置腔与连通口密封连接，容置腔用于容置并限位密封波纹管；检测抽气组件与冷却腔连通，用于对冷却腔抽真空，以及根据冷却腔内的检测气体含量，判断密封波纹管是否发生泄露。本申请实施例实现了对多个密封波纹管的批量检测，而且

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114518204 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210318509.5 (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址