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本发明提供一种在将配设在生成等离子体的处理容器的内部的金属部件与覆盖部件经由紧固螺钉紧固的构造中,能够抑制堆积物向紧固螺钉的头部的附着的紧固结构和紧固方法以及等离子体处理装置。紧固结构包括:多个金属部件,其配设在处理容器的内部,具有露出于在处理容器的内部生成的等离子体中的露出面和螺纹孔;覆盖部件,其以跨多个金属部件的露出面的方式配设,具有绝缘性,并且具有贯通孔;金属制的紧固螺钉,其具有螺钉头部,通过将贯通孔贯通并与螺纹孔螺合而将覆盖部件紧固于金属部件;和覆盖螺钉头部的螺钉覆盖件,螺钉覆盖件包括:
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114512389 A
(43)申请公布日 2022.05.17
(21)申请号 202111304593.7
(22)申请日 2021.11.05
(30)优先权数据
2020-190830 202
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