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本发明公开了一种基于谱图迭代解析的超高/极高真空系统质谱测量方法。本发明对质谱直接测量结果进行二次数据分析处理,利用谱图的迭代解析对质谱原始测量数据进行整合处理,提取淹没在噪声中的有用微小信号,实现质谱图精准定性、定量分析,可大幅提升质谱分析仪器的动态范围特性,实现混合气体极小真空分压力痕量气体组分的定性、定量精确分析测量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114509490 A
(43)申请公布日 2022.05.17
(21)申请号 202111594705.7
(22)申请日 2021.12.24
(71)申请人 兰州空间技术物理研究所
地址 73
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