一种光刻缺陷衍射光强差分检测方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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一种光刻缺陷衍射光强差分检测方法.pdf

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本发明属于光刻缺陷检测相关技术领域，其公开了一种光刻缺陷衍射光强差分检测方法，包括以下步骤：(1)构造入射照明矩阵P(m，n，U0)，扫描入射待测含缺陷光刻样品O(x，y)，获得待测含缺陷样品的近场电场分布U(ξ，η)；(2)获得待测含缺陷光刻样品的远场衍射光强分布I(x，y)矩阵；(3)求解远场衍射光强差分ΔI(x，y)；(4)对得到的远场衍射光强差分ΔI(x，y)进行灵敏度响应分析，并基于得到的灵敏度响应分析结果进行缺陷位置求解；(5)重复步骤(1)‑步骤(4)直至整个待测光刻样品被完整扫描

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114509921 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202210039385.7 (22)申请日 2022.01.13 (71)申请人华中科技大学地址 430074