处理系统对准器站的校准.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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处理系统对准器站的校准.pdf

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校准电子处理系统的对准器站的方法。通过传送腔室的第一机械臂从连接传送腔室的处理腔室取回校准。校准物体在处理腔室具有目标取向。通过第一机械臂将校准放置在连接传送腔室的装载锁定。通过连接装载锁定的工厂接口的第二机械臂从装载锁定取回校准。通过第二机械臂将校准物体放置在容纳在工厂接口或连接工厂接口的对准器站。校准物体在对准器站具有第一取向。确定对准器站的第一取向与对准器站的初始目标取向之间的差。对准器站的初始目标取向与处理腔室的目标取向相关联。基于第一取向与初始目标取向的差确定与处理腔室相关的第一特征误

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114514094 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202080068130.2 达蒙 ·考克斯　保罗 ·沃思　 (22)申请日 2020.08