一种抗划伤的保持环.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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一种抗划伤的保持环.pdf

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本发明提供了一种抗划伤的保持环，所述抗划伤的保持环包括刚性环和弹性环；所述弹性环包括第一粘接面和研磨面；所述刚性环包括第二粘接面和固定面；所述第一粘接面和第二粘接面通过粘结剂紧贴固定；所述研磨面上等间距设置有至少三个呈倾斜设置的条状凹槽；所述条状凹槽与所述研磨面的上表面的连接处没有倒圆角。本发明提供的保持环通过对条状凹槽与所述研磨面上表面的连接处的改进(将倒角做成0)，增加了保持环对研磨垫的打磨作用，更有效的去除了研磨副产物，减小并改善了研磨过程中保持环对于晶圆的划伤。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114505783 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202210089338.3 (22)申请日 2022.01.25 (71)申请人上海江丰平芯电子科技有限公司地址