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本申请公开了一种激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法，系统包括：液滴发生器用于生成扁平状的目标液滴；激光源用于生成激光脉冲，以使激光脉冲冲击所述目标液滴生成等离子体；采集器用于收集等离子体辐射出的EUV光线，并将收集的EUV光线聚焦定向到扫描器中。通过液滴发生器直接产生扁平状的目标液滴，从而仅使用一种激光脉冲撞击目标液滴即可生成等离子体，由于减少了激光脉冲撞击液滴的次数，因此可以减少污染物的产生，进而降低了采集器受污染的严重程度，延长了采集器的使用寿命。另外，由于激光源只需要生成一种
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518692 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202011307887.0
(22)申请日 2020.11.19
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 10
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