压电致动器、超声波元件、超声波探针以及超声波装置.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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压电致动器、超声波元件、超声波探针以及超声波装置.pdf

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本发明公开了压电致动器、超声波元件、超声波探针以及超声波装置，能够抑制不必要的频率的振动的出现。压电致动器具备：振动板，具有将设置于基板的开口部封闭的第一面和设置有多个压电元件的第二面；抑制部，抑制振动板的振动；以及多个立壁，从第一面向开口部延伸，在将第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为压电元件的有源部时，在从第一电极、压电体层以及第二电极的层叠方向俯视观察时，立壁设置于相邻的有源部之间，在与层叠方向正交的面内，相邻的立壁间的距离大于相邻的有源部间的距离。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114504344 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202111347427.5 (22)申请日 2021.11.15 (30)优先权数据