一种三轴超精密轮廓检测装置.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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一种三轴超精密轮廓检测装置.pdf

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本发明公开了一种三轴超精密轮廓检测装置，属于精密测量技术领域，其基于柱坐标测量原理，主要由运动执行单元及精密测量单元构成；测量装置包括隔振平台、大理石基座、精密气浮转台、X轴直线运动平台、Z轴直线运动平台、光谱共焦位移传感器、X轴位移参考基准、Z轴位移参考基准、法布里－珀罗干涉位移传感器、工件调整台、回转轴基准R、环境传感器、主控制器、隔离罩，利用光谱共焦位移传感测量技术进行零件表面轮廓的非接触探测，使用法布里－珀罗干涉位移传感测量技术进行大位移高精度测量，结合精密气浮转台实现轮廓快速回转扫描测

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114485474 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210171704.X (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人成都特密思科技有限公司地址 61